IMEC et RIBER collaborent sur les dispositifs Ge et III-V pour le noeud technologique 22 nm

Rueil-Malmaison, France
Louvain, Belgique

Le 17 mai, 2006

Riber, le leader mondial pour la fourniture des équipements EJM et des services associés destinés à l'industrie des semi-conducteurs composés a rejoint le Programme d'Affiliation Industriel de IMEC (IIAP) dans le cadre de son projet ‘‘Dispositifs Germanium et III-V'' pour les dispositifs CMOS. Ce projet vise à démontrer que les dispositifs à base de germanium et matériaux III-V pourraient être utilisés dans le dispositif CMOS au delà du nœud technologique 22 nm de l'ITRS (Internationnal Technology Roadmap for Semiconductors, ou Feuille de Route Technologique pour les Semiconducteurs). Pour ce projet, Riber va installer à IMEC un équipement cluster innovant d'épitaxie par jets moléculaires qui permettra à IMEC et à ses partenaires de créer les savoirs-faire fondamentaux des processus de traitement de ces nouvelles tranches de silicium et de développer les principaux ingrédients technologiques.

Le projet ‘‘Dispositifs Germanium et IIII-V'' fait partie de la plate-forme de recherche d'IMEC pour les dispositifs en deçà du nœud technologique de 45 nm qui est en cours d'exécution avec les principaux partenaires de IMEC : Infineon ; Intel ; Matsushita ; Philips ; Samsung ; ST Microelectronic ; Texas Instruments ; et TSMC ; qui sont tous des leaders mondiaux fabricants de circuits intégrés et fondeurs.

Alors que IMEC a déjà démontré avec succès la faisabilité de dispositif PMOS sub-micronique sur des wafers à base de germanium, l'intégration d'autres matériaux ou étapes reste à développer pour réaliser les dispositifs CMOS très avancés. L'équipement cluster de Riber, pouvant traiter des tranches de 200 mm, va jouer un rôle décisif pour cette intégration. Il va permettre de : déposer des semiconducteurs III-V sur des tranches en germanium ou à base germanium; déposer des isolants, diélectriques à haut K; et de déposer une couche de contact en métal; avant les étapes suivantes du processus de fabrication. Le processus de traitement de ces tranches sera basé sur celui des tranches en silicium avec un processus standard du silicium qui permettra aux fabricants de tirer parti des équipements de pointe utilisés dans la filière CMOS.

A propos de IMEC

IMEC est un centre de recherche indépendant, leader mondial, dans la nanoélectronique et la nanotechnologie. Ces recherches sont focalisées sur les nouvelles générations de dispositifs et systèmes électroniques et sur les technologies émulant l'environnement intelligent. Les recherches de IMEC réalisent le pont entre les recherches fondamentales des universités et les développements technologiques de l'industrie. Son unique distribution équilibrée entre ses savoir-faire en processus et systèmes, son portefeuille de propriété intellectuelle, ses infrastructures de pointe et son fort réseau mondial d'entreprises, d'universités et d'institut de recherche positionnent IMEC comme un partenaire clé pour faire émerger les technologies des futurs systèmes.

IMEC a créé une entité légalement indépendante aux Pays Bas, comme extension de sa recherche sur les micro-systèmes autonomes sans fils. Stiching IMEC Nederlands a son activité au Centre Holst, un institut indépendant de R&D qui développe les technologies génériques et les plates-formes technologiques pour les solutions à base de capteurs sans fils et de systèmes souples.

IMEC a son siège à Louvain, Belgique, et a des représentants aux USA, en Chine, et au Japon. Ses effectifs sont de plus de 1450 salariés incluant plus de 500 résidents industriels et chercheurs invités. En 2005, les revenus d'IMEC s'établissaient à 197 M€. De plus amples informations peuvent être trouvées à www.imec.be.

Contact :
Katrien Marent, IMEC Corporate Communications IMEC,
T :+32 16 28 18 80,
[email protected]

A propos de Riber

Riber est le fabricant, leader mondial, d'équipement EJM et de services associés. L'entreprise offre la plus grande gamme d'équipements EJM et de dépôt nano-métrique, allant d'équipements de recherche fondamentale pour chaque système de matériaux semi-conducteurs composés jusqu'aux équipements de production pour des produits grand public. Son réseau de service global supporte environ 500 équipements qui sont installés à travers le monde. Ses Centres de Processus Technologiques, équipés d'équipements EJM et d'instruments de caractérisation, offrent à ses clients des solutions pour des procédés d'épitaxie ou le développement de processus de film ultra-fin. Le processus de traitement de dispositifs est disponible dans certains Centres.

Les machines MBE que conçoit et fabrique RIBER sont des équipements de haute technologie essentiels pour la fabrication des matériaux semi-conducteurs composés, à l'origine de nombreuses applications grand public comme les télécommunications sans fil, les réseaux de fibres optiques, les produits grand public.

Les actions de la maison-mère du Groupe, Riber SA, sont cotées au Nouveau Marché au compartiment " C " de la Bourse Euronext de Paris, et sont l'une des composantes de l'indice ITAC CAC IT.
Code ISIN : FR0000075954 - Code Reuters : RIBE.LN - Code Bloomberg : RIB NM Equity

Pour plus d'informations, veuillez contacter :
Souad Hamal
Tel: 01 47 08 84 55
e-mail: [email protected]

ou visitez notre site internet : www.riber.com

RIBER a reçu l'homologation d'innovation ANVAR, ce qui la qualifie pour les FCPIs (fonds d'investissements français)